Procédés et systèmes pour la fabrication de plaquettes d'un monochromateur pour spectrométrie photoélectronique à rayons x

2014 
L'invention concerne des procedes et systemes pour la fabrication de plaquettes d'un monochromateur pour spectrometrie photoelectronique a rayons X (XPS). Par exemple, un procede de fabrication d'une plaquette d'un monochromateur pour spectrometrie photoelectronique a rayons X implique la mise en place d'un cristal sur une platine d'un appareil de mesure a rayons X, le cristal possedant une surface superieure. Le procede implique egalement la mesure, par reflexion de rayons X, d'une orientation d'un plan cristallin du cristal, le plan cristallin etant sous la surface superieure du cristal et possedant un axe primaire. Le procede implique egalement la mesure d'un angle de surface de la surface superieure du cristal en mesurant un faisceau lumineux reflechi par la surface superieure du cristal.
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