Solar cell element and a method of manufacturing the same

【課題】 半導体基板の最表面近傍に高濃度ドーパント層を有すると同時に、高濃度ドーパント層よりも基板内部側に低濃度ドーパント層を有する太陽電池素子の製造に適した方法を提供する。 【解決手段】 第1の導電型を有する半導体基板を、第2の導電型を有するドーパントを第1のドーパント濃度で含有する第1の雰囲気中で加熱する工程と、第1の雰囲気中で加熱された半導体基板を、第1のドーパント濃度よりも低い第2のドーパント濃度を有する第2の雰囲気中で加熱する工程と、第２の雰囲気中で加熱された半導体基板を、第２のドーパント濃度よりも高い第３のドーパント濃度を有する第3の雰囲気中で加熱する工程と、を有する。 【選択図】 図３