Diseño de Microdispositivos de Silicio Poroso con Respuestas Acústicas y Ópticas Específicas

El silicio poroso (SP) se ha utilizado con exito en generadores ultrasonicos aplicando unacorriente alterna en una pelicula delgada metalica depositada sobre el SP. De esta manera se genera unaumento de temperatura que produce una significativa senal acustica en un amplio espectro defrecuencias. En la literatura se reporta el uso de capas uniformes de SP como sustrato debidoexclusivamente a su baja efusividad termica, pero no existen estudios enfocados en las caracteristicasde la capa de SP y su influencia sobre las propiedades de los dispositivos resultantes. En este trabajose propone controlar la respuesta opto-acustica del SP modulando la morfologia de la estructuraporosa formando una multicapa que presente una respuesta especifica tanto optica como acustica. Sepresenta el estudio teorico del uso de una microestructura de SP para el desarrollo de sistemasgeneradores de ultrasonido mediante la obtencion de la repuesta fononica de estructuras con perfilesde porosidad arbitrarios que permiten construir de forma optima microcavidades acusticas resonantescon maximo factor de calidad. El diseno se realiza de manera tal que la respuesta mecanica de lamisma produzca un acoplamiento con la respuesta optica del sistema.