가스공급 장치의 퍼지 시스템 및 방법

본 발명은 웨이퍼(wafer)상에 가스(gas)를 공급하는 가스공급 라인(line)을 퍼지(purge)할 수 있는 가스공급 장치의 퍼지 시스템 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 반응가스가 공급되는 가스공급 라인의 잔류가스를 퍼지하는 시스템에 있어서, 진공가스의 공급을 제어하는 진공 밸브; 상기 진공밸브와 배기구 사이에 설치되고, 상기 진공 밸브를 통해 공급되는 상기 진공가스에 의해 상기 가스공급라인을 진공상태로 만드는 진공 발생기; 퍼지가스의 공급을 제어하는 복수의 퍼지 밸브; 상기 반응가스가 충진되는 실린더; 상기 실린더에 연결되고, 상기 복수의 퍼지 밸브에 연결되어 상기 반응가스 및 상기 퍼지가스를 배기하는 배기 밸브; 및 상기 배기 밸브와 상기 진공 발생기 사이에 설치되고, 상기 반응가스 및 상기 퍼지가스의 배기를 제어하는 배기 제어 밸브를 포함하며, 상기 복수의 퍼지 밸브 중 상기 반응가스에 직접 접촉되는 퍼지 밸브와 상기 배기 밸브 및 상기 진공 밸브는 개방된 상태를 유지하고, 상기 복수의 퍼지 밸브 중 상기 반응가스에 직접 접촉되지 않는 퍼지 밸브와 상기 배기 제어 밸브의 개폐에 의해 상기 가스공급 라인의 잔류가스를 퍼지한다.