Procédé de production d'un film en oxyde métallique, film en oxyde métallique, élément utilisant ledit film en oxyde métallique, substrat pourvu d'un film en oxyde métallique, et dispositif utilisant ledit substrat pourvu d'un film en oxyde métallique

Cette invention concerne : un film en oxyde metallique, qui est forme par un procede de revetement qui est l'un des procedes de production d'un film en oxyde metallique, et qui possede un bon equilibre entre une excellente transparence et une conductivite electrique elevee, tout en ayant une excellente resistance mecanique de film; et un procede de production dudit film en oxyde metallique. Plus specifiquement, cette invention concerne un procede de production d'un film en oxyde metallique qui comprend : une etape de revetement qui consiste a former un film de revetement sur un substrat a l'aide d'un liquide de revetement apte a former un film en oxyde metallique qui contient divers composes metalliques organiques; une etape de sechage qui consiste a convertir le film de revetement en un film de revetement sec; et une etape de chauffage qui consiste a former un film inorganique a partir du film de revetement sec. Le procede de production d'un film en oxyde metallique selon l'invention est caracterise en ce que, dans l'etape de chauffage, le film de revetement sec qui est principalement constitue de divers composes metalliques organiques est chauffe jusqu'a une temperature a laquelle au moins la mineralisation des composants des composes metalliques organiques survient, ou a une temperature superieure, dans une atmosphere contenant de l'oxygene a une temperature ne depassant pas une temperature qui est inferieure de 10°C au point de rosee, de facon que les composants organiques dans le film de revetement sec soient elimines par decomposition thermique et combustion, pour former ainsi une couche fine de particules d'oxyde metallique qui est densement chargee en fines particules d'oxyde metallique qui sont principalement constituees de divers oxydes metalliques.