Traitement et impression tridimensionnels (3d) avec sources plasma
2014
L'invention concerne, dans plusieurs modes de realisation, des systemes, des appareils et des procedes d'impression ou de traitement tridimensionnels par plasma. Dans un mode de realisation, un procede comprend les etapes consistant a introduire des precurseurs chimiques dans une ou plusieurs sources ponctuelles de plasma, a generer un plasma dans la ou les sources ponctuelles de plasma a partir des precurseurs chimiques au moyen d'une ou plusieurs sources de puissance, et a appliquer localement un motif a un substrat dispose par-dessus une platine a l'aide du plasma genere en deplacant la platine par rapport a la ou aux sources ponctuelles de plasma.
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