Contrôle d'un procédé de revêtement

2007 
La presente invention concerne des dispositifs, des systemes et des procedes de controle du revetement d'un echantillon. Le systeme representatif peut comporter un dispositif de fabrication pour procurer a un echantillon une ou des caracteristiques d'echantillon associees a une ou des caracteristiques de revetement. Le systeme representatif peut comporter un capteur d'echantillons pour determiner ladite une ou lesdites plusieurs caracteristiques et un controleur de fabrication pour controler le dispositif de fabrication et pour controler ladite ou lesdites caracteristiques de l'echantillon procurees par le dispositif de fabrication en fonction d'une ou des caracteristiques d'echantillons determinees. Le systeme representatif peut egalement comporter un dispositif de revetement pour procurer a l'echantillon un revetement avec une ou des caracteristiques de revetement; un capteur de revetement determiner ladite ou lesdites caracteristiques de revetement; et un controleur de revetement pour controler le dispositif de revetement et pour controler ladite ou lesdites caracteristiques du revetement en fonction d'une ou des caracteristiques determinees.
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