Dispositif d'inspection de mesure

La presente invention porte sur une technologie concernant un dispositif d'inspection de mesure de faisceau d'electrons de balayage, selon laquelle il est possible de mettre en œuvre une mesure et une inspection a haute precision a diverses vitesses de balayage. Un systeme de detection de signal electronique secondaire dans ce dispositif d'inspection de mesure est capable d'un controle de balayage a une pluralite de vitesses de balayage, et comprend : un detecteur (107) qui detecte un signal electronique secondaire (SE) provenant d'une projection d'un faisceau d'electrons sur un echantillon (110) provenant d'un controle de balayage ; un preamplificateur (30) qui convertit de maniere courant-tension la sortie du detecteur et preamplifie celle-ci ; une partie de traitement/amplification de signal analogique (51) qui recoit une entree de la sortie du preamplificateur (30) et traite et amplifie de maniere analogique celle-ci, et un convertisseur analogique-numerique (52) qui convertit de maniere analogique-numerique la sortie de celui-ci, en tant que partie de detection de signal electronique secondaire (50) ; et une partie de traitement d'image (205) qui genere une image de mesure ou d'inspection sur la base de la sortie de celle-ci. Le commutateur de partie de commande (210) commande chaque partie, y compris un filtre passe-bas (LPF) (12) a l'interieur de la partie de traitement/amplification de signal analogique (51), en fonction de la vitesse de balayage, etc.