Synthèse hydrothermale et caractérisation de films minces PZT pour actionneurs

Ce travail porte sur l'elaboration et la caracterisation de films minces PZT pour micro-actionneurs. Une nouvelle technique de depot par synthese hydrothermale a basse temperature (180\c) a ete developpee. Par ailleurs la variation des quantites utilisees de precurseurs permet de controler la composition finale du PZT depose dans la zone morpho tropique. La microscopie electronique a balayage et la diffraction des rayons x ont ete systematiquement utilisees pour analyser la structure et la composition des couches. Les microcristaux sont cubiques et adherent fortement au substrat. L'epaisseur des depots est d'environ 10 m âpres 24 heures de depot, ce qui est favorable a la realisation d'actionneurs. Cette methode permet de deposer le PZT sur des surfaces variees telles des spheres, des tubes, etc. Les coefficients piezoelectriques d 3 1 (1. 6 pm/v) et d 3 3 (120 pm/v) sont determines par une methode d'interferometrie heterodyne. Le trace du cycle d'hysteresis fournit la polarisation remanente (pr=3 m/cm 2) et le champ coercitif (ec=18. 7 kv/cm).