Dispositif de reproduction d'une installation de gravure par projection

L'invention concerne un dispositif de reproduction (7) dispose dans une installation de gravure par projection (1) a des fins de microlithographie, comportant au moins un element optique (10, 33, 34) et au moins un manipulateur (9, 36, 41) pourvu d'un entrainement lineaire (11) et concu pour influer sur la position de l'element optique (10, 33, 34). Cet entrainement lineaire (11) comprend une section entrainee (14) et une section non entrainee (15) lesquelles se deplacent l'une par rapport a l'autre en direction d'un axe de mouvement (17). Lesdites sections (14, 15) sont reliees l'une a l'autre au moins temporairement par l'intermediaire d'elements fonctionnels (18) presentant une direction d'action au moins approximativement perpendiculaire a l'axe de mouvement (17) et par l'intermediaire d'elements fonctionnels (19) presentant une direction d'action au moins approximativement parallele a cet axe de mouvement (17).