Approche de revêtement extérieur innovante pour performance de particule sur plaquette de dispositif avancée

Pour fabriquer un revetement pour un article pour une chambre de traitement de semi-conducteurs, le revetement est applique a l'article par un procede consistant a appliquer un revetement sol-gel d'Y 2 O 3 sur l'article et a cuire le revetement sol-gel sur l'article en chauffant l'article comportant le revetement sol-gel et en exposant l'article comportant le revetement sol-gel a un plasma dans une chambre de fabrication de semi-conducteurs.