（Pb1-xSrx）TiO3系铁电薄膜的极化反转特性

采用磁控溅射技术在Si基底上制备了（Pb1-xSrx）TiO3（简称PST）铁电薄膜，采用双极性、双脉冲方波电压测试了其极化反转特性。测试结果表明，所制备的PST铁电薄膜的电流密度峰值达10^-4A／mm^2量级，开关时间可达1．0ms左右，极化反转特性较好，有望未来在Si基集成单片红外探测焦平面阵列研制中加以应用。