1013 マイクロ流体チップ金型の微細溝加工の研究 : 溝加工時の工具変形(OS05-3 機械加工の高速・高精度化(切削・研削・特殊加工及び周辺技術),オーガナイズドセッション 5:「機械加工の高速・高精度化 (切削・研削・特殊加工及び周辺技術)」)