高频溅射生长ZnS：Tb,F薄膜的结构与发光

本文采用Ｘ射线衍射和阴极射线发光技术对溅射法生长的ＺｎＳ：Ｔｂ，Ｆ薄膜的发光光谱和薄膜的微观结构进行了研究，得出了微晶薄的晶粒尺寸与发光强度的关系。讨论了稀土离子的价态对掺杂稀土微晶薄膜的发光性质与晶粒尺寸的关系的影响。