熱処理板の温度設定方法，プログラム，プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体及び熱処理板の温度設定装置

【課題】熱板の温度設定のタイミングを適正化及び一定化する。 【解決手段】ＰＥＢ装置の熱板は、複数の熱板領域に区画されており、各熱板領域毎に温度設定できる。熱板の各熱板領域には、熱板面内の温度を調整するための温度補正値がそれぞれ設定できる。先ず、フォトリソグラフィー工程の終了したウェハ面内の線幅が測定される（Ｓ１）。その測定線幅の面内傾向Ｚがゼルニケ多項式を用いて複数の面内傾向成分Ｚ ｉ に分解される（Ｓ２）。その算出された複数の面内傾向成分Ｚ ｉ から、温度補正値の変更により改善可能な面内傾向成分Ｚａ ｉ が抜き出され、それらが足し合わされて、ウェハ面内の測定線幅の改善可能な面内傾向Ｚａが算出される（Ｓ３）。改善可能な面内傾向Ｚａの大きさが予め設定されている閾値Ｌを超えた場合にのみ、熱板の各熱板領域の温度補正値の設定変更が行われる（Ｓ６）。 【選択図】図１０