感光性接着剤組成物、接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ、並びに半導体装置及びその製造方法

【課題】アルカリ現像液によるパターン形成性及び再接着後の耐熱性と、フィルム状に形成されたときの低温貼付性の改善された、露光後の再接着性を有する感光性接着剤組成物、これを用いた接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ、並びに半導体装置及びその製造方法を提供する。 【解決手段】（Ａ）カルボキシル基及び／又は水酸基を有するポリイミドと、（Ｂ）熱硬化性樹脂と、（Ｃ）放射線重合性化合物と、（Ｄ）光開始剤とを含有し、上記の放射線重合性化合物が、１０．０（ｃａｌ／ｃｍ ３ ） １／２ 以上の溶解性パラメータを有する化合物を放射線重合性化合物全体の２０質量％以上含む、感光性接着剤組成物。 【選択図】なし