Systeme d'inspection et procede de production d'un dispositif electronique l'utilisant

1999 
L'historique d'inspection de chaque plaquette est organise en une forme facile a utiliser de maniere a etre reference, la selection des plaquettes a analyser et de celles a inspecter est facile, le temps necessaire a la preparation de l'analyse est court et les donnees d'inspection sont acquises. Les donnees d'inspection stockees dans un systeme d'analyse dans la chaine de production de dispositifs electroniques sont organisees en une liste d'historique d'inspection contenant l'historique d'inspection de l'etape d'inspection, la date d'inspection, le type d'inspection, la presence/absence de groupe, la presence/absence d'image acquise, et le rendement de travail pour chaque plaquette, permettant la reference a des informations d'historique d'inspection de plaquettes.
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