Beleuchtungssystem mit einer vielzahl von einzelgittern

Die Erfindung betrifft ein Beleuchtungssystem fur Wellenlangen 100 nm mit einer Objektebene und einer Feldebene. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass das Beleuchtungssystem umfasst: mindestens ein Gitterelement (1), das eine Vielzahl von Einzelgittern (9) aufweist mindestens einer physikalischen Blende (7.3) in einer Blendenebene, die dem Gitterelement (1) im Strahlengang von der Objektebene zur Bildebene nachgeordnet ist.