Method for producing a probe, the probe and a scanning probe microscope

カーボンナノチューブ等を取付け基端部に取り付けかつカーボン膜等を用いて接合することによりプローブを製造する方法であって、カーボンコンタミネーション膜の影響を排除して接合強度を高め、プローブの導電性を高め、さらに片側コーティングではなく全周囲にコーティングを行って接合性能を強化することができるプローブの製造方法、当該プローブ、および走査型プローブ顕微鏡を提供する。 プローブの製造方法は、カーボンナノチューブ１２と、このカーボンナノチューブを保持する取付け基端部１３と、カーボンナノチューブを取付け基部に接合するコーティング膜１７とから成るプローブを製造する方法であり、カーボンナノチューブと取付け基端部の取付け作業を電子顕微鏡による観察の下で行い、コーティング膜による接合を行う前の段階で、電子顕微鏡によって形成されるカーボンコンタミネーション膜１４を除去する段階を設けている。