Heater and substrate treatment plant

Die Erfindung betrifft eine Heizeinrichtung, umfassend ein Hullrohr sowie mindestens eine in dem Hullrohr angeordnete, elektrisch isolierte Widerstandsheizleitung mit einem ersten Ende und einem zweiten Ende zur elektrischen Kontaktierung, und eine Substratbehandlungsanlage mit einer von Kammerwanden begrenzten Anlagenkammer und einer in der Anlagenkammer angeordneten Heizeinrichtung zur thermischen Behandlung eines Substrats.