Dispositif de pulvérisation comportant une chambre double

La presente invention se rapporte a un dispositif de pulverisation comportant une chambre double. La caracteristique la plus essentielle de la presente invention est qu'elle est concue d'une maniere telle qu'un traitement peut etre realise sur un substrat de grande superficie meme dans un dispositif qui occupe un petit espace parce que l'espace ou un traitement d'ajustement par pression doit etre realise est reduit, grâce a la separation de la chambre du dispositif de pulverisation en une chambre de base et en une chambre et a l'utilisation de la cible de pulverisation comme partie de la cloison de separation.