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Acemap > Paper > n/p/nエピタクシー構造及びドーピング選択電気化学エッチングを用いた静電駆動4H‐SiCマイクロカンチレバ共振器の製造

n/p/nエピタクシー構造及びドーピング選択電気化学エッチングを用いた静電駆動4H‐SiCマイクロカンチレバ共振器の製造

2014 
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