Selectivity of electrofluctuative semiconductor nanosensors at the analysis of multicomponent mixes and flying hydrocarbons

В настоящее время считается, что твердотельные сенсоры на основе металлооксидных соединений наилучшим образом отвечают современным техникоэкономическим требованиям.Принцип действия таких сенсоров заключаетсяв изменении проводимости при наличии в воздухе молекул газов восстановителей и окислителей. Однако в некоторых случаях различныегазы приводят к одинаковому изменению проводимости, что является существенным недостатком таких сенсоров. Объектом исследованиянастоящей работы являются электрофлуктуационные (фликкершумовые) газовые сенсоры(ФШГС), отличающиеся от вышеупомянутыхсенсоров высокой селективностью. В таких сенсорах адсорбционный отклик в виде зависимости спектральной плотности шума от частоты является уникальным для идентифицируемыхгазовых смесей. Изучены возможности усиления адсорбционной способности (АС) таких газочувствительных структур на основе кремния.