Licht emittierende Flip-Chip-Halbleitervorrichtung aus Nitrid
2006
Licht
emittierende Flip-Chip-Halbleitervorrichtung aus Nitrid (20, 50,
60), welche aufweist: p-Typ- und n-Typ-Halbleiterschichten
(24, 26, 54, 56); eine aktive Schicht (25, 55), die zwischen
den p-Typ- und n-Typ-Halbleiterschichten
(24, 26, 54, 56) gebildet ist; eine ohmsche Kontaktschicht
(27a, 57a), die auf der p-Typ-Halbleiterschicht (26, 56) aus Nitrid
gebildet ist; eine Licht ubertragende
leitende Oxidschicht (27b, 57b), die auf der ohmschen Kontaktschicht
(27a, 57a) gebildet ist; eine hochreflektierende Metallschicht
(27c, 57c), die auf der Licht ubertragenden
leitenden Oxidschicht (27b, 57b) gebildet ist, dadurch gekennzeichnet,
dass sie eine Diffusionsverhinderungsschicht, die zwischen der Licht ubertragenden
leitenden Oxidschicht (27b, 57b) und der hochreflektierenden Metallschicht
(27c, 57c) gebildet ist, aufweist, wobei die Diffusionsverhinderungsschicht
aus einem Material hergestellt ist, das aus einer Gruppe gewahlt ist,
die aus Cu, Mo, V, W und Legierungen dieser Materialien untereinander
besteht, und die Legierung Ti-W enthalten kann.
Keywords:
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI