Das unbalancierte Magnetron Stand der Entwicklung heute

Die Magnetron-Kathodenzerstaubung gehort aus heutiger Sicht zu den erfolgreichsten PVD-Beschichtungsquellen. Eine exakte Steuerbarkeit im metallischen wie im reaktiven Betrieb, bei der Abscheidung von Metallen und Metallegierungen sowie bei der Abscheidung von Nitriden, Karbiden und Oxiden, zeichnen diese Quellen aus. Die Moglichkeit der Herstellung von oxidischen Schichten in engen Schichtdickentoleranzen uber einen Ausdehnungsbereich von mehreren Metern haben diese Quelle insbesondere zur Anwendung bei der Architekturglasbeschichtung und Erzeugung optisch aktiver Mehrlagenschichten auf Kunststoffolien pradestiniert. Diese Anwendungen zeigen das gewaltige Anwendungspotential im Prinzip auch fur die Hartstoffbeschichtung.