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硬脆材料の高剛性研削装置による高平坦・薄層化加工 (特集 セラミックスなど硬脆材料の超精密・微細研削加工技術) -- (工作機械)
硬脆材料の高剛性研削装置による高平坦・薄層化加工 (特集 セラミックスなど硬脆材料の超精密・微細研削加工技術) -- (工作機械)
2013
eiiti yamamoto
tosihiro itou
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