フッ化カルシウム結晶、その製造方法 及びこれを用いた投影露光装置

(57)【要約】 【課題】 ＡｒＦエキシマレーザーを光源とした光学系 に用いることが可能な、耐ＡｒＦエキシマレーザー性に 優れたフッ化カルシウム結晶が得られなかった。 【解決手段】 ブリッジマン法において、温度条件、引 き下げ速度等を精密に制御することによりフッ化カルシ ウム結晶中に含有するナトリウム量を０．２ｐｐｍ以下 に抑える。