フッ化カルシウム結晶、その製造方法 及びこれを用いた投影露光装置
1996
(57)【要約】
【課題】 ArFエキシマレーザーを光源とした光学系 に用いることが可能な、耐ArFエキシマレーザー性に 優れたフッ化カルシウム結晶が得られなかった。
【解決手段】 ブリッジマン法において、温度条件、引 き下げ速度等を精密に制御することによりフッ化カルシ ウム結晶中に含有するナトリウム量を0.2ppm以下 に抑える。
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