Influence of annealing regimes on phase transitions in nitrogen and carbon ion implanted molybdenum

The possibilities are investigated of ion implantation applied alongside with subsequent thermal or electron pulse annealing in obtaining carbides and nitrides in subsurface layers of massive single crystal molybdenum samples. It is shown that carbides (Mo2C, MoC) and nitrides (Mo2N, MoN) arise during implantation mainly and the subsequent thermal annealing causes the decay (MoC, Mo2N, MoN) or the perfection of one structure only (Mo2C). As distinguished from this, an other decay of the synthesized phases, a change of their structural state (texture, polycrystal), and also the appearance of new (α-MoC1−x) phases can be observed during pulse electron annealing. Es werden die Moglichkeiten einer Ionenimplantation zusammen mit nachfolgender thermischer oder Elektronenimpulsausheilung zur Erzielung von Karbid- oder Nitridschichten unter der Oberflache von massiven Molybdan-Einkristallproben untersucht. Es wird gezeigt, das Karbide (Mo2C, MoC) und Nitride (Mo2N, MoN) hauptsachlich wahrend der Implantation auftreten und die nachfolgende thermische Ausheilung den Zerfall (MoC, Mo2N, MoN) oder nur die perfekte Ausbildung einer Struktur (Mo2C) verursacht. Im Unterschied dazu last sich ein anderer Zerfall der synthetisierten Phasen, eine Anderung ihres strukturellen Zustands (Textur, Polykristall) sowie das Auftreten von neuen (α-MoC1−x)-Phasen wahrend Elektronenimpulsausheilung beobachten.