Accroissement de la sensibilite d'un controleur de particules in situ

Cette invention concerne un appareil et un procede qui permettent d'accroitre la sensibilite d'un controleur de particules in situ. On utilise une technique de diffusion de la lumiere, qui fait de preference appel a une lumiere laser, afin de controler les concentrations de particules a l'interieur de la chambre de traitement (15) d'un systeme de traitement de substrats au plasma (10). Les concentrations de particules peuvent etre augmentees dans le champ lumineux du capteur en creant un champ electrique ou magnetique dans la chambre de traitement afin de concentrer les particules qui s'y trouvent en suspension.