반도체 팹 유틸리티의 모듈 랙 설치구조 및 그 시공방법

본 발명은 반도체 공장의 메인 팹에 설치된 각 생산라인을 지원하기 위한 팹 유틸리티의 모듈 랙의 설치구조에 관한 것으로서, 상기 모듈 랙의 설치구조는 상부브라켓이 선 부착 설치된 다수 개의 기둥과, 거더와 빔으로 이루어져 기둥의 상단에 설치된 철골보프레임으로 이루어지는 크린룸 구조물에 모듈 랙이 설치된 것으로서. 상기 모듈 랙은 적어도 2단 이상의 파이프랙과, 상부 파이프랙과 하부 파이프랙을 연결하여 유틸리티공간을 형성시키는 연결지주 및, 상기 유틸리티공간에 설치 고정되는 배관파이프를 포함하여 이루어지고, 상기 파이프랙은 배관파이프의 진행방향으로 배치되는 종프레임과 이에 직교하여 배치되는 횡프레임으로 이루어지며, 상부 파이프랙의 상면은 상부브라켓의 하부에 고정되고, 하부 파이프랙의 하면은 기둥에 후 부착 설치되는 하부브라켓에 거치되는 것을 특징으로 한다.