基板冷却装置、基板冷却方法、制御プログラム、コンピュータ読取可能な記憶媒体

【課題】 基板が大型であっても、スループットの向上を図りつつ、基板の歪みおよび破損を確実に防止することが可能な基板冷却装置を提供する。 【解決手段】 基板冷却装置２５は、加熱後の基板Ｇを一方向に搬送する搬送路としてのコロ搬送機構５と、コロ搬送機構５によって搬送されている基板Ｇを冷却する冷却機構７とを具備し、冷却機構７は、コロ搬送機構５に沿って搬送方向上流側から順に予備冷却室６５ａと主冷却室６５ｂとが配置されてなり、加熱後の基板Ｇを予備冷却部６５ａにおいて冷却して基板Ｇの粗熱とりを行った後、この基板Ｇを主冷却部６５ｂにおいて所定の温度に冷却する。 【選択図】 図６