基板冷却装置、基板冷却方法、制御プログラム、コンピュータ読取可能な記憶媒体
2006
【課題】 基板が大型であっても、スループットの向上を図りつつ、基板の歪みおよび破損を確実に防止することが可能な基板冷却装置を提供する。 【解決手段】 基板冷却装置25は、加熱後の基板Gを一方向に搬送する搬送路としてのコロ搬送機構5と、コロ搬送機構5によって搬送されている基板Gを冷却する冷却機構7とを具備し、冷却機構7は、コロ搬送機構5に沿って搬送方向上流側から順に予備冷却室65aと主冷却室65bとが配置されてなり、加熱後の基板Gを予備冷却部65aにおいて冷却して基板Gの粗熱とりを行った後、この基板Gを主冷却部65bにおいて所定の温度に冷却する。 【選択図】 図6
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI