制限ユニット、蒸着装置、蒸着膜製造方法、エレクトロルミネッセンス表示装置の生産方法およびエレクトロルミネッセンス表示装置

制限ユニット（２０）は、蒸着粒子を通過させる少なくとも１つの制限開口（２４）と、制限開口（２４）を挟む複数の制限部（２５）とを有し、制限部（２５）は、天壁（２１）と開口壁（２３）とで形成される逆凹形状の断面形状を有している。