銀合金、スパッタリングターゲット、反射型lcd用反射板、反射配線電極、薄膜、その製造方法、光学記録媒体、電磁波遮蔽体、電子部品用金属材料、配線材料、電子部品、電子機器、金属膜の加工方法、電子光学部品、積層体及び建材ガラス

2002 
【課題】優れた耐食性、高い反射率、電気的に低抵抗及び優れた耐熱性の特性を有する銀合金、スパッタリングターゲットを提供する。 【解決手段】本発明に係る銀合金は、優れた耐食性を有する銀合金であって、Agを主成分とし、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Au、Zn、Al、Ga、In、Si、Ge及びSnからなる群から選ばれた少なくとも1種類の元素を含有するものである。前記少なくとも1種類の各元素の含有量は0.1at%以上8.0at%以下であることが好ましい。また、本発明に係るスパッタリングターゲットは前記銀合金からなる。前記スパッタリングターゲットは、反射光の黄色化を抑制した反射型LCD用反射板又は反射配線電極を製造するものであることも可能である。 【選択図】 なし
    • Correction
    • Source
    • Cite
    • Save
    • Machine Reading By IdeaReader
    0
    References
    0
    Citations
    NaN
    KQI
    []