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Acemap > Paper > 摩擦駆動型圧電アクチュエータのスリップフリー駆動に関する研究(第2報):スリップフリー駆動電圧波形によるステージ駆動

摩擦駆動型圧電アクチュエータのスリップフリー駆動に関する研究(第2報):スリップフリー駆動電圧波形によるステージ駆動

2007 
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