Flächenheizeinrichtung für eine substratbehandlungseinrichtung, und substratbehandlungseinrichtung

Die Erfindung betrifft eine Flachenheizeinrichtung fur eine Sustratbehandlungseinrichtung mit erhohter Leistungsdichte und verbesserter Homogenitat der Warmeabstrahlung. Vorgeschlagen wird bei einer Flachenheizeinrichtung fur eine Substratbehandlungseinrichtung, die einen Mantelrohrheizer mit geraden Rohrabschnitten und gebogenen Rohrabschnitten umfasst, wobei gerade Rohrabschnitte parallel zueinander in einer Hauptebene angeordnet und gerade Rohrabschnitte durch gebogene Rohrabschnitte miteinander verbunden sind, dass zumindest ein Teil der gebogenen Rohrabschnitte relativ zur Hauptebene geneigt ausgerichtet ist.