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アルミ磁気ディスク基板のポリシング特性に及ぼすポリシャ表面構造の影響(第4報):ポリシャ裏面バフの効果
アルミ磁気ディスク基板のポリシング特性に及ぼすポリシャ表面構造の影響(第4報):ポリシャ裏面バフの効果
2010
masataka takagi
heizi yasui
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