Les microsystèmes intégrés: réalités et perspectives

La technologie des microsystemes vise l'integration monolithique ou hybride des fonctions: capteurs, actionneurs et traitement du signal. Les premieres realisations sur silicium arrivent au stade industriel et les principaux axes de recherches sont maintenant bien identifies. Les auteurs, en s'appuyant sur des exemples de realisations francaises, illustrent l'etat d'avancement des savoir-faire et les perspectives ouvertes par ces technologies nouvelles