Appareil de fabrication de cellules solaires en film mince
2009
L'invention concerne un appareil de fabrication d'une cellule solaire en film mince qui comprend un espace de fabrication de film (81) dans lequel est dispose un substrat (W) de maniere a ce que la surface de fabrication de film du substrat (W) et la direction de la gravite soient sensiblement paralleles entre elles, et le film voulu est forme sur la surface de fabrication de film par un procede de depot chimique en phase vapeur (CVD) ; des unites de cathode (68, 118, 128), ayant des cathodes (75), qui permettent d'appliquer une tension a celles-ci et sont disposees sur les deux cotes des unites de cathode, et au moins deux points d'alimentation (88), et des anodes (67) disposees de maniere a faire face aux cathodes (75) sur les deux cotes des unites de cathode (68, 118, 128), avec des espaces entre les anodes et les cathodes.
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