マルチパルスレーザ発生装置、及びその方法、並びにそのマルチパルスレーザを用いた加工方法

(57)【要約】 【目的】本発明の目的は、１つのレーザ源から単発パル スレーザビームから３個以上のマルチパルスレーザビー ムを発生するための方法と装置を提供するにある。 【構成】レーザ源からの１パルスレーザビームは偏光ビ ームスプリッタにより第１と第２の方向の直線偏光レー ザビームに分離され、第１方向のビームはマルチパルス の第１パルスとして出力される。第２方向のビームは、 遅延と直線偏光から非直線偏光への変換を受け、再び偏 光ビームスプリッタに入射される。そこで２方向の直線 偏光レーザビームに再度分離され、第１方向に分離され た遅延パルスビームはマルチパルスの第２パルスとして 出力される。第２方向に分離された遅延パルスビームは 上記のような再び遅延・非直線化ループを通されて第３ パルスが生成される。