EEM(Elastic Emission Machining)プロセスにおける加工液がSi(001)表面のマイクロラフネスに及ぼす影響

kubota   syou kame,mimura   syuuwa,yumoto   hirokatu,mori   yuuzou,yamauti   kazuhito

EEM(Elastic Emission Machining)プロセスにおける加工液がSi(001)表面のマイクロラフネスに及ぼす影響

2005

kubota syou kame
mimura syuuwa
yumoto hirokatu
mori yuuzou
yamauti kazuhito

EEMにおける超純水や加工液が, Si (001) 表面のマイクロラフネスに及ぼす影響を評価した. その結果, 超純水中とは異なり, 加工液中に浸漬後のSi (001) 表面は, エッチングされにくく, マイクロラフネスがほとんど変化しないことが明らかになった. このことから, EEMによって平坦化されたSi表面が, 加工液中に長時間存在しても, 表面平坦性への影響は少ないことがわかった.

Keywords:

Machining
Analytical chemistry
Materials science
Composite material
Etching
Elasticity (economics)

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