Systeme et procede de recuit thermique rapide a mesure et controle de temperature ameliores

On utilise un pyrometre a large bande pour mesurer la temperature d'une plaque a semi-conducteur dans un systeme de recuit thermique rapide, conjointement avec un monochromateur pour supprimer les caracteristiques de l'arriere de la plaque a semi-conducteur. Un systeme de recuit thermique rapide comporte une chambre de recuit thermique rapide, une lampe chauffante disposee a proximite de ladite chambre pour chauffer l'interieur de la chambre, un pyrometre a large bande place a proximite de ladite chambre et oriente de sorte qu'il mesure l'interieur de la chambre, et un monochromateur en reseau, connecte au pyrometre a large bande.