Nitrure de bore et procédé de dépôt de matériaux dérivés de nitrure de bore

L'invention propose des procedes pour former des films contenant du bore. Les procedes comprennent l'introduction d'un precurseur contenant du bore et un precurseur contenant de l'azote ou de l'oxygene dans une chambre et la fabrication d'un film de nitrure de bore ou d'oxyde de bore sur un substrat dans la chambre. Sous un aspect, le procede comprend le depot d'un film contenant du bore puis l'exposition du film contenant du bore au precurseur contenant de l'azote ou contenant de l'oxygene pour incorporer de l'azote ou de l'oxygene dans le film. Le depot du film contenant du bore et l'exposition du film au precurseur peuvent etre effectues pendant des cycles multiples pour obtenir l'epaisseur voulue du film. Sous un autre aspect, le procede comprend la mise en reaction du precurseur contenant du bore et du precurseur contenant de l'azote ou contenant de l'oxygene pour deposer chimiquement en vapeur le film de nitrure de bore ou d'oxyde de bore.