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Acemap > Paper > イオンビームを用いたゼロデュアの微少量加工における表面粗さの評価:Ar+イオンのエネルギーが3～10keVの場合

イオンビームを用いたゼロデュアの微少量加工における表面粗さの評価:Ar+イオンのエネルギーが3～10keVの場合

2007 
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