Effusion-cell evaporation을 이용한 열전박막 제조와 소형 열전 냉각소자 설계

본 연구는 Bi-Te 박막과 Sb-Te 박막을 co-evaporation 공정을 사용하여 제조하고 박막의 열전, 전기적 특성을 평가하였다. 앞서 제조한 박막을 이용하여 박막형 열전 냉각 소자를 설계하였다.