Systeme et procede de fabrication de fenetres de contact

L'invention concerne un procede de formation de plusieurs fenetres de contact (20, 2) de poids et de densite variables dans une couche de contact (56) d'un dispositif a circuit integre (10). Plusieurs fenetres de contact (20, 24) peuvent comprendre plusieurs fenetres de contact espacees de facon reguliere (20) possedant un premier pas le long d'une premiere direction et plusieurs fenetres de contact semi-isolees (24) possedant une second pas le long d'une seconde direction. Une source d'eclairage a double dipole (42, 44) peut transmettre de l'energie lumineuse a travers un masque (48) possedant un motif correspondant a un motif de fenetre de contact souhaite. La source d'eclairage a double dipole (42, 44) peut comporter une premiere ouverture dipole (60), qui est orientee et optimisee afin de configurer les fenetres de contact espacees de facon reguliere (20), et une seconde ouverture dipole (62), qui est orientee de facon sensiblement orthogonale par rapport a la premiere ouverture dipole (60) et optimisee afin de configurer les fenetres de contact semi-isolees (24). La couche de contact (56) peut etre gravee au moyen d'une couche de photoresine a motif (58).