Filtre a ions a faible masse a faisceaux ioniques d'amas gazeux

L'invention concerne l'utilisation d'un aimant permanent au sein d'un dispositif GCIB (faisceaux a ions d'amas gazeux) en vue de la separation d'ions monomeres indesirables provenant d'un faisceau a ions d'amas gazeux, afin de faciliter un traitement ameliore des pieces. Dans un autre mode de realisation, l'effet de l'aimant permanent peut etre commande par l'utilisation d'une bobine electrique. Ce systeme elimine les problemes lies a la consommation d'energie et a la production de chaleur.