Régulation de débit d'un fluide dans un Laboratoire sur Puce

La formation Master a specialite micro-nano electronique (MNE) de l'Universite de Strasbourg propose, depuis l'annee 2015, un enseignement intitule « Projet de conception » presente sous la forme d'un module de 4 heures de cours et de 24 heures de travaux pratiques. Les etudiants en seconde annee de Master abordent le developpement d'applications micro-fluidiques et plus precisement celui de l'electronique de pilotage d'actionneurs et de capteurs associes a un micro-laboratoire grave sur une puce. Les generalites sur les regimes d'ecoulement des fluides et le modele du circuit fluidique y sont d'abord traitees. Une etude plus poussee conduit ensuite l'etudiant a dimensionner le circuit qui pilote une micro-pompe avec des niveaux de tensions specifiques a la technologie High-Voltage 0,18 μm. Les notions d'automatique et de systemes regules sont indispensables en donnant un lien entre les objectifs et les performances attendues. Enfin, une serie de simulations sous Cadence permet de relier les debits d'ecoulement des fluides a la microelectronique de commande.