感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法、半導体装置及び電子部品

【課題】 本発明は、現像時に残渣の発生を抑制することができ、つまり現像性に優れ、かつ、コントラストが良好な感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。さらに、本発明は、前記感光性樹脂組成物を用いたパターン硬化膜の製造方法、及び、前記パターン硬化膜を有する電子部品を提供することを目的とする。 【解決手段】 （Ａ）フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂と、（Ｂ）光により酸を生成する化合物と、（Ｃ）熱架橋剤と、（Ｄ）フェノール性低分子化合物とを含有する感光性樹脂組成物。 【選択図】なし