Procede et appareil permettant de nettoyer les bords d'un disque mince

L'invention concerne un dispositif de nettoyage concu pour nettoyer les bords d'un disque mince tel qu'une plaquette a semiconducteurs. Ledit dispositif possede une buse sonique placee de facon a diriger un jet de liquide a la surface des bords du disque mince. De preference, la buse sonique est radialement espacee desdits bords de facon a executer simultanement le lavage, le rincage ou le nettoyage avec rotation sur les surfaces principales du disque mince lorsque les bords sont nettoyes a l'aide de la buse sonique. Le jet de liquide peut contenir de l'eau ionisee, du NH4OH, du KOH, du TMAH, du HF, de l'acide citrique, un tensioactif, ou d'autres solutions de nettoyages similaires. La buse peut rester fixe pendant que le disque mince tourne, ou elle peut balayer la circonference du disque pour en nettoyer les bords entiers.