Hydridosilapyrroles, hydridosilaazapyrroles, thiasilacyclopentanes, procédé de préparation associé, et produits de réaction ainsi obtenus

L'invention concerne les hydridosilapyrroles et les hydridosilaazapyrroles etant une nouvelle classe de composes heterocycliques presentant du silicium lie a des atomes de carbone et d'azote a l'interieur du systeme cyclique et un ou deux atomes d'hydrogene sur l'atome de silicium. Les composes sont representes par la formule (I) : R etant un groupe organique substitue ou non substitue et R' etant un groupe alkyle. Ces composes reagissent avec une multitude de groupes hydroxyle organiques et inorganiques par une reaction d'ouverture de cycle et peuvent etre utilises pour produire des films de nitrure de silicium ou de carbonitrure de silicium.